团簇薄膜相关论文
本文介绍了等离子体增强磁过滤沉积法的特点,特别强调它与其它制备纳米结构碳材料方法的不同.它采用了分立的碳源,避免了由于......
利用低能中性团簇束流淀积(LECBD)方法制备硅团簇薄膜,观察到Si团簇特殊的分形生长现象,并对此非平衡动力学过程作初步的探讨。......
利用低能中性团簇束淀积技术(LECBD)首次制备了Se团簇薄膜,发现其生长方式与传统的蒸发方法有明显的不同。原位电子束辐照观察到明显......
该文在作者自行设计国内唯一的集团簇产生,分析和材料制备于一体的LECBD装置上,对于由团簇束流淀积技术制备的重要的VI族元素半导......
低能团簇淀积技术是80年代后期发展起来的新的团簇束流淀积技术,由于其特有的物理机制,实现了以团簇为基元来组装新材料而引起了人们......