【摘 要】
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利用金属有机化合物气相外延(MOVPE)设备获得了高质量的InGaN/GaN多量子阱(MQW)结构的蓝光发光二极管(LED)材料.X射线衍射(XRD)测量数据和模拟结果之间非常好的一致性证实了M
【机 构】
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清华大学电子工程系集成光电子学国家重点实验室(北京)
【出 处】
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第八届全国LED产业研讨与学术会议
论文部分内容阅读
利用金属有机化合物气相外延(MOVPE)设备获得了高质量的InGaN/GaN多量子阱(MQW)结构的蓝光发光二极管(LED)材料.X射线衍射(XRD)测量数据和模拟结果之间非常好的一致性证实了MQW层的高的晶体质量,光荧光谱的半高全宽(FWHM)只有124meV.通过优化搀杂比,获得了高达71017cm-3的空穴浓度.
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