【摘 要】
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采用多晶硅籽晶铺底进行晶体外延生长的多晶硅铸锭方法,大大降低了硅晶体生长需要的形核势垒,有效的提高了晶体质量.研究发现,粒径细小的多晶硅颗粒料籽晶为晶体生长提供大量
【机 构】
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南京工业大学东海晶澳太阳能科技有限公司东海晶澳太阳能科技有限公司;南京工业大学
【出 处】
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第九届中国太阳级硅及光伏发电研讨会
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采用多晶硅籽晶铺底进行晶体外延生长的多晶硅铸锭方法,大大降低了硅晶体生长需要的形核势垒,有效的提高了晶体质量.研究发现,粒径细小的多晶硅颗粒料籽晶为晶体生长提供大量的晶核,生长出大小均匀的晶粒,并伴有较低的位错密度.随着晶体的吞并长大,硅锭顶部晶粒的均匀性降低,位错聚集体也逐渐增加,且这些位错聚集体大多存在于大晶粒间夹杂的小晶粒内部.EBSD分析发现,有籽晶铸锭的晶粒中含有大量的Σ3或者孪晶界.
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