有籽晶铸锭多晶硅中晶体生长分析

来源 :第九届中国太阳级硅及光伏发电研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:johnwangjohn
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采用多晶硅籽晶铺底进行晶体外延生长的多晶硅铸锭方法,大大降低了硅晶体生长需要的形核势垒,有效的提高了晶体质量.研究发现,粒径细小的多晶硅颗粒料籽晶为晶体生长提供大量的晶核,生长出大小均匀的晶粒,并伴有较低的位错密度.随着晶体的吞并长大,硅锭顶部晶粒的均匀性降低,位错聚集体也逐渐增加,且这些位错聚集体大多存在于大晶粒间夹杂的小晶粒内部.EBSD分析发现,有籽晶铸锭的晶粒中含有大量的Σ3或者孪晶界.
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