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本文在双F—P腔光纤干涉仪测距原理和光纤探针粗糙度测量方法的基础上，提出了光纤F—P干涉传感器的高精度表面粗糙度测量原理.着重探讨了其测试方法.
光纤F—P干涉传感器进行精度表面粗糙度测量原理探讨
【摘 要】
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本文在双F—P腔光纤干涉仪测距原理和光纤探针粗糙度测量方法的基础上，提出了光纤F—P干涉传感器的高精度表面粗糙度测量原理.着重探讨了其测试方法.
【机 构】
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天津大学(天津)
【出 处】
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中国仪器仪表学会第三届青年学术会议
【发表日期】
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2001年期
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