GaAs二维光子晶体的制作及其研究进展

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光子晶体(photonic crystals)是由不同介电常数的材料周期排列所成的结构,其规则排列周期宽度约为可见光至红外光波长的一半左右,光子晶体的特性在于能够使光类似于电子在半导体中一般,光子晶体的结构也会影响电磁波于晶体中的传导,亦即在晶体结构中存在一能带间隙可排除特定频率的光子通过,所以光子晶体又称为光能隙晶体(photonic bandgap crystals, PBG),由于光子晶体的优越特性以及可能产生的深刻影响,光子晶体被认为是未来的半导体,对光通信,微波通信,光电子集成以及国防科技等领域将起着关键的作用。本文将阐述了嵮梡扫描式电子束显微镜,干蚀崗朄,旝影媄术等现代微加工技术的基础上,有序结构二维光子晶体的制作方法及其发展动向。
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