基于MOEMS工艺制作柔性光学传感器

来源 :2004全国图像传感器技术学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：bbanb

【摘要】

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本文基于MOEMS技术研究了一种用于仿生柔性光学传感器的曲面微透镜的制作方法.首先利用传统的光刻胶热熔工艺制作了平面微透镜阵列,然后利用深刻蚀(ICP)制作了一种硅岛阵列支

【作者】

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陈四海柯才军赖建军易新建潘峰付小朝汪殿民向思桦

【机构】

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华中科技大学,光电子工程系,湖北,武汉,430074

【出处】

：

2004全国图像传感器技术学术交流会

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

工艺制作仿生柔性光学传感器平面微透镜阵列曲面微透镜光刻胶热熔制作方法支撑结构聚酰亚胺技术硅岛阵列深刻蚀硅工艺微型涂覆

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本文基于MOEMS技术研究了一种用于仿生柔性光学传感器的曲面微透镜的制作方法.首先利用传统的光刻胶热熔工艺制作了平面微透镜阵列,然后利用深刻蚀(ICP)制作了一种硅岛阵列支撑结构,在硅岛上涂覆一层聚酰亚胺,并固化,形成柔性的结构.利用这种技术所制作的微型光学传感器既具有一定的柔性,又具有一定的强度,而且与传统的硅工艺相兼容.

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