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本文用XPS及小掠角XRD研究了等离子体基离子注磷对TiNi合金表面成分和相组成的影响.结果表明,TiNi合金经等离子注磷(60keV)后表面形成深约40nm的富磷层,该层与合金表面原有的氧化膜相叠加.最外层存在磷化物及非晶态组织,次表层出现马氏体相,而不含磷的基体为B2母相,意味着磷的注入可以提高TiNi合金的相变温度.