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MOCVD腔体压力对ZnO薄膜生长的影响
【机 构】
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大连理工大学物理与光电工程学院,辽宁省大连市,116024
【出 处】
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第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议
【发表日期】
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2012年期
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