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本文试图探讨大功率微波功放的集成工艺,分析了CrSi-Cr-Cu-Ni-Au系薄膜工艺的优缺点和大功率功放的微组装工艺。
大功率微波功放集成工艺探讨
【摘 要】
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本文试图探讨大功率微波功放的集成工艺,分析了CrSi-Cr-Cu-Ni-Au系薄膜工艺的优缺点和大功率功放的微组装工艺。
【机 构】
：
信息产业部电子29所;
【发表日期】
：
2004年期
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