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扫描电镜的试样制备是一个非常重要的老问题,特别是场发射扫描电镜观察过程中的非导电试样的制备方法,制备方法不正确就会出现一些假象.本文主要讨论了与SEM图像质量相关的因素,举例说明了选择最佳条件在无机非金属材料研究中的应用.
扫描电镜的试样制备方法及应用
【摘 要】
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扫描电镜的试样制备是一个非常重要的老问题,特别是场发射扫描电镜观察过程中的非导电试样的制备方法,制备方法不正确就会出现一些假象.本文主要讨论了与SEM图像质量相关的因
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所(上海)
【出 处】
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第十三届全国电子显微学会议
【发表日期】
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2004年8期
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