【摘 要】
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本研究采用纳米金属Cu颗粒磁真空溅射沉积方式制备可供SEM原位加载试验观测样品，通过SEM原位试验观测对膜-基结构的表面和界面分别进行试验结果的分析与讨论。这些试验结
【机 构】
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清华大学航天航空学院,北京,100084
【出 处】
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中国力学大会2011暨钱学森诞辰100周年纪念大会
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本研究采用纳米金属Cu颗粒磁真空溅射沉积方式制备可供SEM原位加载试验观测样品，通过SEM原位试验观测对膜-基结构的表面和界面分别进行试验结果的分析与讨论。这些试验结果表明：(1)由于纳米Cu颗粒形成的膜厚度和宽度比相差很大，弯曲过程中出现的裂纹在宽度方向扩展路径均与外加拉伸应力方向保持一个倾斜角度，这意味着金属膜-基结构膜内还存在横向变形影响，这种变形的驱动内力是由于薄膜几何尺寸约束所致，并导致其主应力方向发生偏转；(2)金属Cu膜厚度1 mm和2 mm及以上的尺寸在试验条件相同的SEM原位加载作用下，发生了失效机制的转换；(3)上述薄膜-基体结构的失效应力用传统的Stoney公式是无法表征。这些研究结果对设计新型互联器件有一定的指导意义。
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