综述了各种GaAs表面处理技术尤其是硫钝化技术的发展、现状以及趋势.GaAs的各种硫化物钝化方法在改善GaAs表面特性和GaAs器件性能方面都具有一定效果,但是研究者们对硫钝化影响GaAs表面特性的机理还没有统一的认识.比如:陈溪滢认为硫钝化后GaAs器件性能的改善是由于钝化消除了表面态,使能带弯曲减小了;但有人发现负电荷表面态密度的增加有利于提高GaAs MESFET的击穿电压.笔者认为,硫钝化后器件性能与器件的表面态密切相关.因此,可以认为硫钝化后器件性能的改善与钝化对器件表面态的影响有关.所以,澄清硫钝化影响GaAs器件性能的机理,搞清硫钝化对GaAs表面特性的影响是非常重要的.总之,GaAs表面钝化对器件功能起着很重要的作用.多年的实验证明,良好的表面钝化可以提高击穿电压、减少跨导、减少漏电流、改善器件的特性,使其具有更广阔的发展空间.在信息高速发展的今天,表面钝化技术将会扮演更重要的角色,来推动信息技术的不断向前发展.