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本文研制了一种基于静电梳齿激励、差分检测式微型电场传感器.利用相关检测原理对该传感器进行了测试,测试结果表明,在外电场强度为0.5×105～25×105V/m范围内,传感器的输出特性基本满足线性关系,灵敏度可达到0.53μV·m/kV.
静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器
【摘 要】
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本文研制了一种基于静电梳齿激励、差分检测式微型电场传感器.利用相关检测原理对该传感器进行了测试,测试结果表明,在外电场强度为0.5×105～25×105V/m范围内,传感器的输
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080
【出 处】
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中国微米纳米技术第七届学术年会
【发表日期】
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2005年期
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