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微压力传感器由于体积小、重量轻、精度高、成本低等特点应用很广泛，其某些领域已取代传统的传感器，进一步研制小体积高精度的传感器并扩大应用范围已是势在必行。该文主要从提高传感器的性能角度来分析掩模版设计中的重要问题，并对设计制作的微传感器进行静态测试，取得了满意的实验结果。
硅压阻式微压力传感器的研制及性能测试
【摘 要】
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微压力传感器由于体积小、重量轻、精度高、成本低等特点应用很广泛，其某些领域已取代传统的传感器，进一步研制小体积高精度的传感器并扩大应用范围已是势在必行。该文主要从提
【机 构】
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陕西省西安交通大学精密工程研究所
【出 处】
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2000年计量测试学术交流会
【发表日期】
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2000年期
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