微压传感器相关论文
本文基于溅射薄膜技术研制微压传感器,充分发挥溅射薄膜技术优势,通过改进芯体结构解决了输出灵敏度低的难题.使用PGA900信号调理......
简述并比较了消防员呼吸频率的主要监测技术及装置,设计了一套基于微压传感器的消防员训练用呼吸频率监测装置,对该装置的器件选型......
同时获取气固流化床不同位置颗粒浓度、压差、压力信号时间序列,运用吸引子和涨落复杂性参数研究了聚氯乙烯在低气速下的流化状况.......
一、总说某化工厂五号炉是燃烧天然气的锅炉。该炉原有一台串级燃烧调节系统处于正常运行状态。由于安全运行而提出了对炉膛负压......
钢瓶检漏是液化石油气灌装流水线和钢瓶大修流水线上的一道重要工序,是保证安全使用液化石油气的重要手段之一,我国目前均采用水......
针对目前碳酸盐分析测定中存在的问题,作者根据气体与压力关系,压力与电信号转换关系等原理,自行设计和研制了JYC碳酸盐测定仪。经......
对路基沉降实施有效的监测,是其基本需求和安全运营的重要保证.通常采用陶瓷微压传感器或硅微压传感测量沉降管中水面压力差的微小......
本文报告了两种基于MEMS硅体微机械加工的低微差压传感器,其具有的高灵敏度、高精度和可随批量大幅度降低成本的能力为结构风......
本文讨论了用作微量程压力传感器研制中的各向异性腐蚀技术的机理,介绍了用P-ED腐蚀液对单晶硅片进行各向异性腐蚀的结果。通过实......
本文提出了一种采用气囊式微压传感电路实现全方位吸尘机器人触觉的方案，使其能够在行走以及对复杂地域进行的清扫时，实现实时避障和......
在本文中,作者根据简单的线性系统分析和实践中的体会,对压力传感器的动态校准和动态性能的评价提出下列几点看法:(1)阶跃压力是较......
多功能低压治疗仪是基于传感技术和电子技术设计而成的治疗仪器。
Multi-functional low-pressure therapeutic apparatus is bas......
一、前言 对于杯式扩散硅压力传感器来讲,硅杯是决定其性能优劣的关键部件。我们知道,工作压力P与硅杯的几何尺寸应满足下式要求:......
微压传感顺在实际使用过程中的抗过载强度是一个很重要的参数。该文对微压传感器的过压失效进行分析和研究，提出硅膜应力匀散和双层......
微型与微压均是压阻压力传感器制作中的难题，二者都要求就更难，作者应水工模型测量的要求开发了一种直径Φ５ｍｍ，量程１ｍＨ〈，２〉Ｏ，３ｍＨ〈，２〉Ｏ，测水且要背腔......
本文将以几个实例阐明微传感器在近年来的发展以及在工业上的典型应用,文中涉及一个3mbar的微压传感器,一个数字化可编程、有校正......
该文报道一种量程为１ＫＰａ的扩散硅微机械结构微压传感器。实现了在高灵敏度下的非线性内补偿和强过载保护以及微压高频响，分析研究了最佳......
一种化工用防腐型压力传感器的结构设计崔永毅，崔新艳，徐国庆ＳＴＲＵＣＴＲＥＤＥＳＩＧＮＯＦＡＡＮＴＩＣＯＲＲＯＳＩＶＥＰＲＥＳＳＵＲＥＳＥＮＳＯＲＦＯＲＣＨＥＭＩＣＡＬＩＮＤＵＳＴＲＹ１前言传感器相当于人的五官与神经，是获得各种信息的重要工具之一。传...
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为战场救护用的便携式呼吸机开发了一种量程为2kPa的小型微压传感器．为减小尺寸及冲击振动的影响，采用了微机械加工的方形平膜结构和......
硅微机械力敏器件在封装时往往采用硅—玻璃静电键合的方法。但在静电键合时静电力也往往作用于不需要键合的结构部分。并可能引起......
本文给出干涉型微压力检测的光纤传感器原理、构造及实验测试结果分析。
In this paper, the principle, structure and experime......
本文概述厚膜力敏传感器的原理和技术特点以及国内外10多年来研究、开发的概况。重点介绍了目前国内厚膜力敏传感器的性能及应用。......
LP1000系列微压传感器具有良好的性能价格比,其压力范围从25Pa至250Pa,表压或差压,精度±0.5％,单双向操作可选,电流或电压输出可选......
在微压传感器的研制中进行了计算机辅助设计．利用有限元方法建立硅膜的刚度矩阵，从而求解位移方程．得到了方形弹性膜上的应力分布，为力......
冶金部安全技术研究所最近研制成一种能直接读数的新型风速仪。它是皮托管与微压传感器运算电路数字显示组合装置,风速灵敏度(分......
苏通大桥桥位区河床松软覆盖层厚约300m，主桥群桩基础由131根直径2.8m、长117m的钻孔灌注桩组成，桩距与桩径比仅2.29，可能存在的群桩......
薄膜力学性能是当今MEMS技术中一个很重要的参数，对于微结构器件的研究和应用有很大的影响。半个多世纪以来，鼓膜实验(Bulge test)测......
设计并研制了一种新型光纤法布里-珀罗压力传感器,通过光刻、硅片刻蚀、阳极键合等微机电系统技术制作而成,适合恶劣环境下、狭小......
在研究四电极电化学腐蚀工艺过程中 ,考虑了与扩散硅压力传感器芯片平面工艺的兼容性 ,使得该工艺用于微压传感器的制造。微压传感......
YF-24WY微压传感器是以集成电路工艺和微机械加工技术制作而成的扩散硅固态压力传感器。传感器的管芯是由四个阻值组成的惠斯顿电......
为了消除轧钢加热炉压阻式微压传感器在其运行状况中受温度因素干扰的影响,采用信息融合技术来进行压力测量过程中的温度补偿,结果......
本文在大量实验的基础上,对微压传感器中硅杯形成的各向异性腐蚀技术的机理进行了详细分析,提出了几种切实可行的膜厚控制方法与正......
介绍一种用三根并排的光纤组成的差动补偿式微压传感器.传感器采用了差动补偿的检测方法,其输出不受光源强度波动、反射片反射率变......
<正> 一、前言 对于杯式扩散硅压力传感器来讲,硅杯是决定其性能优劣的关键部件。我们知道,工作压力P与硅杯的几何尺寸应满足下式......
为战场救护用的便携式呼吸机开发了一种呈程为２ｋＰａ的小型微压传感器，为减小尺寸及冲击振动的影响，采用了微机械加工的方形平膜结构和梁膜......
安徽电子科学研究所恒昌电子发展公司研制的“XFY多功能胸腹诊治仪”最近荣获中国高新技术博览会新产品银奖,产品形成了A型、B型、......
微压差传感器在工业和民用领域有着广泛的应用。基于前期设计的水平磁性液体微压差传感器结构模型,着重探讨了磁性液体的粘度对该......
采用3D打印技术设计和制作了一种腰形筒结构作为弹性元件的压力传感器。通过有限元仿真分析了腰形筒在内压下的表面应变分布规律,......
提出并利用“掩模－无掩模”腐蚀的方法形成了一种新型单面多层结构的硅微压传感器，该传感器针对用体微机械双面加工的硅压阻式压力传......
本文提出了一种采用气囊式微压传感器电路实现全方位吸尘机器人触觉的方案，使其能够行走以对复杂地域进行的清扫时，实现实时避障和对......
本文介绍了正方形膜片微压传感器的结构,分析了其设计思想。并就利用正方形膜片开发的微压传感器的灵敏度作了分析,与同尺寸的圆形......
