【摘 要】
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SnO2和ZnO作为两种种重要的n型半导体氧化物传感材料,基于其制成的敏感元件由于具有好的气敏特性的以及稳定性从而被广泛的应用在生产和生活中.近年来,很多研究表明构筑ZnO/S
【机 构】
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集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林大学电子科学与工程学院,吉林长春130012
【出 处】
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第十四届全国敏感元件与传感器学术会议
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SnO2和ZnO作为两种种重要的n型半导体氧化物传感材料,基于其制成的敏感元件由于具有好的气敏特性的以及稳定性从而被广泛的应用在生产和生活中.近年来,很多研究表明构筑ZnO/SnO2异质结构可以改善单一半导体氧化物传感器所存在的灵敏度不突出,检测下限较高等问题.因此,在本文中采用水热法制备ZnO/SnO2异质结构复合传感材料.利用X射线衍射,扫描电子显微镜和透射电子显微镜等对所合成的ZnO/SnO2异质结构复合传感材料的形貌和结构进行表征并对基于ZnO/SnO2异质结构复合传感材料,单一组分ZnO和SnO2的气敏元件分别进行气敏特性的测试.相较于ZnO和SnO2,ZnO/SnO2复合材料对乙醇的灵敏度有很明显的提高,而且对乙醇气体有较低的检测下限,甚至可以对ppb量级的乙醇气体进行检测.
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