【摘 要】
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利用电弧离子镀与磁控溅射复合镀膜方法,在316L不锈钢表面制备Ti-Cu-N纳米复合薄膜.通过调节Cu靶电流控制薄膜中Cu含量以研究Cu含量对膜层微观结构和耐腐蚀性能的影响.利
【机 构】
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辽宁师范大学物理与电子技术学院,辽宁大连 116029
【出 处】
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第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛
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利用电弧离子镀与磁控溅射复合镀膜方法,在316L不锈钢表面制备Ti-Cu-N纳米复合薄膜.通过调节Cu靶电流控制薄膜中Cu含量以研究Cu含量对膜层微观结构和耐腐蚀性能的影响.利用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对薄膜的相结构和表面形貌进行表征,利用传统三电极方法对未镀膜和镀膜样品进行动电位极化测试,以评价其耐腐蚀性能.结果表明,随着Cu靶电流由0.15A增加至0.9A,薄膜中Cu含量由0.76at％增大至33.5at％；Ti-Cu-N纳米复合薄膜主要以Cu和TiN混合相形式存在,XRD图谱中出现了TiN(311)和Cu(111)(200)的衍射峰；随着Cu含量的增加,Cu(111)(200)衍射峰强增大,Ti-CuN纳米复合薄膜表面更加细化均匀；Ti-Cu-N纳米复合薄膜的腐蚀电位变高,说明随着TiCu-N纳米复合薄膜中Cu含量的增加,Ti-Cu-N薄膜的耐蚀性增强.
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