筒式牵引分子泵螺旋升角对抽气性能的影响

来源 :中国真空学会2014年年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:faycbl
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  筒式牵引分子泵具有结构简单、压缩比高等优点,常常作为复合分子泵中的压缩级,在清洁高真空、超高真空环境的获得中起到了重要作用。筒式牵引分子泵抽气性能受螺旋几何参数、螺旋槽数量以及转子转数等影响,其中螺旋升角对泵抽速和压缩比均有重要影响。本文考虑了牵引转子与定子间隙返流对抽气性能的影响,获得了压差产生轴向返流和转子牵引引起周向泄漏条件下抽速和压缩比的计算式。计算结果表明,泵抽速、压缩比随螺旋升角的增加呈先增加后减小的变化规律,对特定几何参数和转子转速的牵引分子泵,存在最佳螺旋升角选取范围。本文的研究工作提出的理论依据和工程设计方法,对筒式牵引分子泵结构改进和性能优化具有参考价值。
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