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羰基金属配合物作为一种MOCVD前驱体，除毒性较大外，其优点十分突出:沉积温度低，沉积速度快，沉积膜纯度高，膜层致密，膜表面的光洁度好，设备简单等等。本文对目前国内外羰基金属配合物的MOCVD工艺技术的应用研究状况进行简要综述。
羰基金属配合物MOCVD工艺的应用研究
【摘 要】
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羰基金属配合物作为一种MOCVD前驱体，除毒性较大外，其优点十分突出:沉积温度低，沉积速度快，沉积膜纯度高，膜层致密，膜表面的光洁度好，设备简单等等。本文对目前国内外羰基金属配合物的MOCVD工艺技术的应用研究状况进行简要综述。
【机 构】
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中国钢研科技集团公司,北京,100081 北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083
【出 处】
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2007全国粉末冶金学术及应用技术会议暨海峡两岸粉末冶金技术研讨会
【发表日期】
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2007年4期
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