【摘 要】
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微成形技术具有低成本、适合批量制造等优点，在微纳制造领域有着广阔的应用前景，随着构件尺寸的减小，其比表面积迅速增大，摩擦对成形的影响显著增大，本文针对箔板微成形中的摩擦与润滑问题，设计了U型拉深试验方案，简化坯料的受力状态，便于研究润滑条件对拉深工艺的影响，使用微型试验机，在无润滑、机油润滑以及DLC膜表面改性等条件下开展试验，获得不同润滑条件下的成形载荷、成形件几何尺寸精度以及表面质量等。结果表
【机 构】
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哈尔滨工业大学材料科学与工程学院，哈尔滨 150001 哈尔滨工业大学微系统与微结构制造教育部重点实验室，哈尔滨 150001
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微成形技术具有低成本、适合批量制造等优点，在微纳制造领域有着广阔的应用前景，随着构件尺寸的减小，其比表面积迅速增大，摩擦对成形的影响显著增大，本文针对箔板微成形中的摩擦与润滑问题，设计了U型拉深试验方案，简化坯料的受力状态，便于研究润滑条件对拉深工艺的影响，使用微型试验机，在无润滑、机油润滑以及DLC膜表面改性等条件下开展试验，获得不同润滑条件下的成形载荷、成形件几何尺寸精度以及表面质量等。结果表明，DLC膜表面改性能够显著降低成形载荷，且不受成形速度等条件的影响;DLC膜表面改性条件下成形件回弹量略有增加;DLC膜表面改性时成形件表面质量好于无润滑时的表面质量，但不及机油润滑时的表面质量。综上所述，DLC膜表面改性在降低摩擦力方面有显著作用，能够满足微成形的需要。
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