【摘 要】
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本文研究了不同铅含量的锆钛酸铅(PZT)陶瓷的低温原子氢致电导改性。制备了贫铅、化学计量和富铅的PZT试样。在超声振动条件下，对其进行低温水相电化学原子充氢。研究发现：随充氢时间的延长，PZT试样的电阻率减小，但下降速度逐渐减慢。经相同的充氢处理，贫铅的PZT试样电阻率下降幅度最小，富铅的PZT试样电阻率下降幅度最大。XRD结果表明：低温充氢后的试样仍保持四方相不变，晶胞体积出现微小增大，分析认为
【机 构】
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北京科技大学 材料科学与工程学院材料物理与化学系，北京 100083 清华大学 微电子学研究所，北
【出 处】
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第十二届全国电介质物理、材料与应用学术研讨会
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本文研究了不同铅含量的锆钛酸铅(PZT)陶瓷的低温原子氢致电导改性。制备了贫铅、化学计量和富铅的PZT试样。在超声振动条件下，对其进行低温水相电化学原子充氢。研究发现：随充氢时间的延长，PZT试样的电阻率减小，但下降速度逐渐减慢。经相同的充氢处理，贫铅的PZT试样电阻率下降幅度最小，富铅的PZT试样电阻率下降幅度最大。XRD结果表明：低温充氢后的试样仍保持四方相不变，晶胞体积出现微小增大，分析认为是由于原子氢侵入了PZT晶格中所致。在研究的基础上。对PZT的低温原子氢致电导改性机理进行了讨论，认为侵入PZT中的原子氢作为间隙原子掺杂，提供了施主能级，导致试样电阻率随充氢时间的延长而下降。
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