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本文采用一种测试器件热阻的新方法:瞬态双界面法,通过介绍该方法的原理，将其应用到大功率器件IGBT上，所得到的器件的结壳热阻值具有较高的精度。
测试IGBT热阻的一种新方法
【摘 要】
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本文采用一种测试器件热阻的新方法:瞬态双界面法,通过介绍该方法的原理，将其应用到大功率器件IGBT上，所得到的器件的结壳热阻值具有较高的精度。
【机 构】
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中国科学院微电子研究所,北京
【出 处】
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2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
【发表日期】
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2013年期
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