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该文研究了复合钒钼酸干凝胶薄膜的湿敏特性。复合钒钼酸干凝胶薄膜的湿敏性能较复合钒酸好，而且其电阻随相对湿度的增加而减小，添加正硅酸乙酯(TEOS)对其湿滞有明显的改进作用，含5wt℅TEOS的薄膜的湿滞回差最小，同时器件的响应恢复较快。
复合钒钼酸干凝胶薄膜的湿敏特性研究
【摘 要】
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该文研究了复合钒钼酸干凝胶薄膜的湿敏特性。复合钒钼酸干凝胶薄膜的湿敏性能较复合钒酸好，而且其电阻随相对湿度的增加而减小，添加正硅酸乙酯(TEOS)对其湿滞有明显的改进作用
【机 构】
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吉林大学电子工程系(长春)
【出 处】
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第六届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1999年期
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