【摘 要】
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氧离子的扩散作为YBa2Cu3O7-δ超导薄膜制备中的主要物质输运形式之一，决定着薄膜晶体从非超导电的四方相向超导正交相的转变.本文以成型后的YBa2Cu3O7-δ薄膜为研究对象，
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氧离子的扩散作为YBa2Cu3O7-δ超导薄膜制备中的主要物质输运形式之一，决定着薄膜晶体从非超导电的四方相向超导正交相的转变.本文以成型后的YBa2Cu3O7-δ薄膜为研究对象，通过分子动力学模拟研究了不同晶位上氧离子的扩散特性，重点探讨了温度等因素对氧离子扩散系数的影响.研究结果表明：在温度低于900K时，不同晶位上氧离子的扩散能力存在明显差异.Cu-O链上的氧离子具有较强的扩散能力，而Ba-O层、Cu-O面内的氧离子的扩散能力依次降低，致密的Cu-O面在一定程度上阻隔了氧离子沿c轴方向的长程迁移.然而随着温度升高，氧离子扩散的晶位相关性逐渐减弱.此外，氧离子在不同晶位上表现出独特的各向异性扩散行为，随着温度升高氧离子扩散的各向异性变弱.模拟结果可为YBCO超导薄膜的生长机理研究及确定相关制备工艺提供参考.
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