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反射型塔宝(Talbot)莫尔干涉术之原理和应用
反射型塔宝(Talbot)莫尔干涉术之原理和应用
来源 :第二届全国光电技术与系统学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jiaxianczy
【摘 要】
:
反射型塔宝莫尔干涉术是利用塔宝效应改进反射莫尔的一种新型干涉术。由于利用了塔宝效应,克服了传统反射莫尔由于衍射限制测试灵敏度低的缺点。可获得镜状表面试样高灵敏度、
【作 者】
:
俞信
云大真
【机 构】
:
北京工业学院
【出 处】
:
第二届全国光电技术与系统学术会议
【发表日期】
:
1986年期
【关键词】
:
反射型
干涉术
原理
测试灵敏度
塔宝效应
高灵敏度
高反差
衍射
试样
表面
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反射型塔宝莫尔干涉术是利用塔宝效应改进反射莫尔的一种新型干涉术。由于利用了塔宝效应,克服了传统反射莫尔由于衍射限制测试灵敏度低的缺点。可获得镜状表面试样高灵敏度、高反差的等值斜率条纹。斜率之测试灵敏度已达到1×10[*-5*]弧度每条纹。(本刊录)
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