超导勾型磁场下直拉硅单晶氧浓度的试验研究

来源 :第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：safemon

【摘要】

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文中研究了超导勾型磁场下大直径直拉硅单晶的生长,采用NbTi/Cu合金低温超导磁体,向硅熔体所在空间引入Cusp磁场.当坩埚边缘磁感应强度达到0.15T时,熔硅中杂质输运受扩散控制

【作者】

：

王真薛涛李咏梅童林剑

【机构】

：

陕西天宏硅材料有限责任公司陕西咸阳 712038

【出处】

：

第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

【发表日期】

：

2014年期

【关键词】

：

低温超导磁体磁场强度大直径直拉硅单晶氧浓度扩散控制磁感应强度杂质输运表面观察

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文中研究了超导勾型磁场下大直径直拉硅单晶的生长,采用NbTi/Cu合金低温超导磁体,向硅熔体所在空间引入Cusp磁场.当坩埚边缘磁感应强度达到0.15T时,熔硅中杂质输运受扩散控制.在熔硅自由表面观察到明显的Marangoni对流,通过控制磁场强度及磁场“0”面控制Marangoni对流,可控制硅单晶中的氧浓度.

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