【摘 要】
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本文对激光自混合干涉系统的位移测量研究进展进行了综述.首先对激光自混合干涉的发展概况进行了介绍,然后着重介绍了基于激光自混合干涉系统的位移测量系统.将基于自混合干
【机 构】
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清华大学精密仪器测试技术与仪器国家重点实验室,北京,100084
【出 处】
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2005年全国光电技术学术交流会暨第十七届全国红外科学技术交流会
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本文对激光自混合干涉系统的位移测量研究进展进行了综述.首先对激光自混合干涉的发展概况进行了介绍,然后着重介绍了基于激光自混合干涉系统的位移测量系统.将基于自混合干涉的位移测量系统分为条纹计数法、模跳测量法、合成波长测量法、拍频测量法、光回馈水平差异测量法、分区细分法.条纹计数法最易于实现,系统最简单,但分辨率低,一般为半个光波长.模跳测量法利用跳模原理进行测量,分为开环和闭环模跳测量法两类,所对应的分辨率分别为40nm和50nm.合成波长测量法则利用双激光器同时回馈时两激光器功率条纹相位差异实现位移测量,测量速度和范围相对于传统单激光器相位测量法大大提高.拍频测量法利用光回馈引起激光器频率变化的现象对位移进行测量,系统的分辨率为5nm.光回馈水平差异测量法巧妙运用透镜实现系统不同水平的光回馈,实现系统的分辨率为20nm.分区细分法则利用双频激光器中两垂直偏振光功率曲线交叉变化的特点,对条纹交叉结果进行分区,能实现分辨率为八分之一光波长.同时对各种测量方法的原理进行了介绍,对各自系统的优缺点也进行了评述.
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