水冷不锈钢型大功率微波化学气相沉积全透明金刚石薄膜研究

来源 :第九届全国等离子体科学技术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jiangchong122
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该文报道了用天线耦合水冷不锈钢型MPCVD装置成功制备出大功率(3KW-4KW)连续运行,成功制备出全透明金刚石薄膜,其最大面积可达φ76.5mm。经喇曼光谱,扫描电镜,X射线衍射,红外光谱测试,表明得到的是高纯度的金刚石薄膜。
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