【摘 要】
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Background, Motivation and Objective High-frequency (＞20 MHz) ultrasound is desired for various applications including dermatology, ophthalmology, and small animal studies. The major technology hurdle
【机 构】
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Department of Electrical and Computer Engineering, NCSU, Raleigh, North Carolina, USA
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Background, Motivation and Objective High-frequency (＞20 MHz) ultrasound is desired for various applications including dermatology, ophthalmology, and small animal studies. The major technology hurdle for making high-frequency arrays is associated with the conventional piezoelectric transducer fabrication techniques. The thickness of the piezoelectric crystal and the pitch of the array need to be tens of microns which is difficult to achieve using conventional fabrication techniques. Furthermore, small element size results in high electrical impedance and makes it difficult to drive the elements using external electronics. Capacitive micromachined ultrasonic transducers (CMUT) have demonstrated great promise for the implementation of high-frequency arrays because of the precise dimension control and ease of integration with electronics. However, the fractional bandwidth of the early high-frequency CMUT designs was limited (＜80％) mainly because of the low fill factors. In this work, we successfully demonstrated that we can design and fabricate high-frequency broadband arrays on a glass substrate using anodic bonding.
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