基于空气绝缘层的钛菁锌微纳单晶场效应管气敏特性研究

来源 :第十四届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:C07467001
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本研究采用物理气相输运方法生长的钛菁锌微纳单晶,制备了以空气为绝缘层的有机场效应晶体管,并在室温条件下对不同浓度的硫化氢气体进行了气敏性能的研究.实验表明,以空气为绝缘层制备的钛菁锌微纳单晶场效应晶体管具有良好的稳定性,同时展现了对硫化氢气体的高灵敏度,在20ppm下响应高达3004%,是检测硫化氢气敏性能的良好有机半导体材料.最后,本研究检测了钛菁锌对包括硫化氢在内四种常见工业有毒气体的气敏选择性.优异的气敏性能主要源于空气绝缘层独特的结构设计.
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