大气压介质阻档辉光放电(Atmospheric Pressure Glow Discharge,简称APGD)由于不需要真空装置并且所产生等离子体均匀性好、电子温度与电子密度适中,在工业领域具有重要的应用前景,逐步成为低温等离子体的研究热点。气体种类、介质材料、电源类型和电极间距等实验条件均对均匀DBD产生重要影响,而种子电子产生在DBD中对APGD的影响备受关注。Li等人[1]在5.5 mm电极间距的射频DBD中获得APGD,认为二次电子发射可能是在大间隙下产生APGD的原因。Tang等人[2]发现弥散空气等离子体的形成主要在于有足够的种子电子,这些种子电子通过潘宁效应产生。Le等人[3]利用KHz大气压DBD产生种子电子,在较低的电压下获得稳定且均匀的射频DBD放电,即APGD。射频APGD工作于两个不同的模式,即低电流密度下的α模式(体积电离)和高电流密度下的γ模式。Liu等人[4]研究了空气DBD中APGD的电场分布和放电特性,发现在纳米尺度间隙所产生的初始电子的作用下,交叉接触电极产生空气APGD等离子体。Lee等人[5]利用粒子模拟分析了间距小于100μm和频率为10 MHz-500 MHz的氦气DBD放电特性。当频率增加时,加热机理由γ模式变到α模式时,击穿电压出现了两个规律。得到高功率密度等离子体的最佳条件为离子输运时间与射频周期之比约等于1/4,这时离子轰击材料边界产生的二次电子通过鞘层电势被加速。从上述研究结果可以看到种子电子在DBD中产生APGD起着十分重要的作用,但其放电电流的占空比一般不超过50%。