【摘 要】
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MEMS惯性仪表(包括MEMS加速度计和MEMS陀螺仪)是以IC工艺和微机械加工工艺为基础制做的MEMS器件,近些年来迅速发展,在军民两用领域均有广泛的应用前景.本文作者结合自1994年
【机 构】
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清华大学导航技术工程中心,北京,100084
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MEMS惯性仪表(包括MEMS加速度计和MEMS陀螺仪)是以IC工艺和微机械加工工艺为基础制做的MEMS器件,近些年来迅速发展,在军民两用领域均有广泛的应用前景.本文作者结合自1994年以来,包括"九五"、"十五"期间,参加和主持MEMS惯性仪表预研项目的体会,在参考国内外有关文献的基础上,重点对微机械加速度计和微机械陀螺仪类型的微惯性仪表在国内外的发展及现状作了综述.
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