【摘 要】
：
我们自行设计加工了ZnO生长专用MOCVD系统，该系统直接采用O2气为氧源，不引入其他元素，有利于n型、p型掺杂和载流子浓度的控制。为了克服DEZn预反应问题，该系统反应室安装了两个特
【机 构】
：
吉林大学集成光电子国家重点实验室 电子科学与工程学院 长春 130012 大连理工大学 物理与光电工程学院 大连 116023
论文部分内容阅读
我们自行设计加工了ZnO生长专用MOCVD系统，该系统直接采用O2气为氧源，不引入其他元素，有利于n型、p型掺杂和载流子浓度的控制。为了克服DEZn预反应问题，该系统反应室安装了两个特殊设计的源喷枪。同时为了解决ZnO材料p型掺杂问题，该MOCVD设备添加了射频等离子体增强系统。设备还添加了光照系统，光照可以提高源的分解效率，有助于金属有机物中的烷基脱去，同时可能激活受主杂质，解决p型ZnO见光退化不稳定问题。利用该MOCVD系统我们在Si、GaAs、Al2O3、GaF2等衬底上生长制备了高质量ZnO薄膜。
其他文献
研究了酸水解纤维素制备的胆甾型纤维素液晶的制备方法，液晶相织构的形成及其影响因素。结果表明：在60％，65％酸浓度，反应温度在60℃以上能得到稳定的微晶纤维素悬浮液;出现液晶相时
电梯是高层建筑中必不可少的垂直输送设备,但又是一种危险性较大的设备.各国的国家标准都对电梯的安全提出了严格的要求,我国国家标准GB 7588-1995对电梯的安全要求也有十分
非成像光学关注光能的收集、传输以及重新分配，在照明和太阳能光伏、光热利用领域发挥着重要的应用。本文结合清华大学集成光电子学国家重点实验室的研究成果，介绍了非成像光学
2009年7月31日,丹麦前首相拉斯穆森接替夏侯雅伯出任北约历史上第13任秘书长。当前,在美俄围绕北约东扩、科索沃独立和格鲁吉亚问题而展开的“明争暗斗”不断加剧,法国重返北
对常规电梯控制系统中的厅外呼梯和轿内指令信号以点对点传递信号的缺点进行分析后,结合MCS-51单片微机的性能特点,提出了“串行总线式多机系统通讯”的设计思想.其结构特点
背景：对口服汞的系统吸收被认为是微不足道的。泻药或全肠冲肠有助于清除肠胃污染。既往已有关于继发于阑尾积汞的罕见的急性阑尾炎手术干预的报道。作者报道一例大量元素汞摄
理想的硅单晶是具有反演对称性的半导体材料，因而不具有线性电光效应等二阶非线性光学效应。尽管硅材料中也存在克尔效应、Franz-Keldysh效应等通过外加电场改变材料折射率的
姜叶片晴天中午的表观量子效率 (AQY)和PSⅡ光化学活性 (Fv/Fm)显著降低 ,表明有明显的光抑制现象 ,而干旱、高温、强光等逆境条件可显著加重光抑制程度。土壤水分胁迫使光呼
一、玉林市民营企业发展概况近年来,玉林市民营经济发展迅猛,经济总量持续扩张,产业领域拓宽,民间投资强势增长,已成为玉林市经济发展举足轻重的力量。据统计,到2005年10月末
自上世纪八十年代美国贝尔实验室的Ashkin用单光束成功捕获微粒以来,光学捕获(光镊)技术已经延伸到包括原子物理、生物医学以及显微成像等各个研究领域，并由此引发了各自领域