多孔SnO<,2>薄膜气敏特性研究

来源 :第五届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:abcwangyong
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该文用RGTO方法制备多孔、颗粒状SnO<,2>薄膜,研究纯SnO<,2>薄膜及掺杂SnO<,2>薄膜对CO、乙醇等气体的气敏特性。实验发现,掺Pt薄膜对CO有很好的气敏响应;选择合适的工作温度,可提高灵敏度改善选择性,Pt-SnO<,2>薄膜工作在200℃左右对CO的灵敏度(△R/R)为90℅。实验还发现,用此种方法制得的薄膜具有良好的长期稳定性、非常短的响应和恢复时间,这对它的实用化非常重要。
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