【摘 要】
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钛酸钡薄膜作为特殊形态的材料,已成为微电子、信息、传感器、光学等技术的基础,并广泛渗透到当前科技的各个领域。目前,见诸报道的钛酸钡陶瓷薄膜的制备方法主要有物理方法
【机 构】
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陕西科技大学材料科学与工程学院; 咸阳陶瓷研究设计院;
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钛酸钡薄膜作为特殊形态的材料,已成为微电子、信息、传感器、光学等技术的基础,并广泛渗透到当前科技的各个领域。目前,见诸报道的钛酸钡陶瓷薄膜的制备方法主要有物理方法如射频磁控溅射、脉冲激光沉积和分子数外延等,化学方法如溶胶-凝胶法、有机金属化学气相沉积（MOCVD）法和水热法等。本文研究了一种低温水溶液中制备BaTiO3纳米晶态薄膜的新的合成办法。将仿生合成技术与液相沉积技术相结合,在30～65℃下,利用基底表面的功能化OTS自组装膜层对BaTiO3前区体溶液的诱导作用,在单晶硅基底表面制备与基底结合紧密、结构致密均一BaTiO3薄膜并探讨了BaTiO3薄膜形成机理。将单晶硅片于蒸馏水、丙酮和乙醇中超声波洗涤,用紫外光照射,基片浸泡在OTS甲苯溶液进行形成OTS单分子膜。继续用紫外光照射,使基片表面羟基化。将处理后的基片置于配制的前驱液中制备BaTiO3功能陶瓷薄膜。
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