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使用模板和化学气相沉积技术,我们成功获得纳米硅管.其直径约为60纳米,长度约为5微米.管壁结构大部分为多晶.
纳米硅管
【摘 要】
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使用模板和化学气相沉积技术,我们成功获得纳米硅管.其直径约为60纳米,长度约为5微米.管壁结构大部分为多晶.
【机 构】
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浙江大学物理系;浙江大学硅材料国家重点实验室 浙江大学硅材料国家重点实验室
【出 处】
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东钱湖论坛第二次会议-纳米材料与产业化研讨会
【发表日期】
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2002年3期
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