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采用电化学气相沉积方法（EVD），于自制的EVD设备上，淀积了Y<,2>O<,3>-ZrO<,2>（YSZ）固体电解质薄膜，并对薄膜的组成、结构、形貌、厚度等进行了XRD、SEM、XPS分析测试。结果表明：淀积的YSZ薄膜为金稳定立方晶相结构，可以控制Y<,2>O<,3>的掺杂浓度在8mol℅～12mol℅之间，满足YSZ作为高温下氧离子导电固体电解质的要求。