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本文根据初级相差理论和刚体坐标变换原理，提出一种基于数据拟合的离轴非球面干涉补偿检验的计算机辅助调整方法。经实验验证，这种方法可以有效提高补偿检验的调整精度，从而使加工误差与检验误差分离，能够满足高精度离轴非球面检验要求。
离轴非球面干涉补偿检验的一种计算机辅助调整技术
【摘 要】
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本文根据初级相差理论和刚体坐标变换原理，提出一种基于数据拟合的离轴非球面干涉补偿检验的计算机辅助调整方法。经实验验证，这种方法可以有效提高补偿检验的调整精度，从而使加
【出 处】
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中国光学学会2004年学术大会
【发表日期】
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2004年期
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