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@@vibration-clean=振动控制技术、是保障一个完善的洁净室的专业技术=是洁净技术中极为重要的核心技术。但是、与以防尘，防化学分子污染控制为起始的温度，湿度控制技术相比，振动控制技术并没有得到足够的认识和重视。
洁净技术中必不可缺的日本特许机器株式会社的振动控制技术
【摘 要】
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@@vibration-clean=振动控制技术、是保障一个完善的洁净室的专业技术=是洁净技术中极为重要的核心技术。但是、与以防尘，防化学分子污染控制为起始的温度，湿度控制技术相比，振
【机 构】
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苏州工业园区嘉合环境技术工程有限公司
【出 处】
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2010中国(北京)洁净技术论坛暨2010中国苏州洁净室与相关受控环境技术论坛
【发表日期】
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2010年10期
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