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<正>【引言】固体氧化物燃料电池(Solid Oxide Fuel Cell:SOFC)是可以将燃料气体的化学能直接转化为电能的高效清洁的发电装置。电解质作为SOFC的核心部件,在保证电解质致密度的条件下降低厚度是解决中温SOFC存在问题的重要途径。近年来,研究表明超低压等离子喷涂可以获得均匀而致密的涂层,因而在电解质制备中受到广泛关注。本研究利用等离子物理气相沉积(PS-PVD)设备