【摘 要】
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随着IPHONE手机以及WII体感游戏的普及,MEMS传感器具有广大的市场和研发趋势。作为一种典型的MEMS传感器,电容式MEMS传感器以及后端的读出电路[1]也得到了更多的关注和重
【机 构】
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中国科学院微电子研究所,北京100029
【出 处】
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第十二届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
随着IPHONE手机以及WII体感游戏的普及,MEMS传感器具有广大的市场和研发趋势。作为一种典型的MEMS传感器,电容式MEMS传感器以及后端的读出电路[1]也得到了更多的关注和重视。首先介绍了电容式MEMS传感器的特点和应用；随后介绍和分析了几种常用的读出电路,；然后在CSMC05工艺下对上述的电路进行了设计和分析,同时,提取了这几种电路的典型结构；最后,给出了在SPECTRE测试的结果,并总结了这几种电路的优缺点,为进一步的ASIC设计[2]提供了很好的参考和分析。
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