【摘 要】
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用电子束热蒸发的方法生长了ZrO2薄膜，通过X射线衍射分析，我们得到了在不同电子束流下沉积的薄膜其结构和性质是不同的。在100mA电子束流下薄膜基本上处于非晶状态，120mA时出现结晶，并且随着电子束流的增大，结晶越来越明显，峰值越来越大，半高宽越来越小，晶粒线度逐渐增加，表面粗糙度逐渐增大。薄膜中的应力随着电子束流的变化不是简单的线性关系，140mA时为张应力，但是很小，接近于零，其他情况下表现
【机 构】
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中科院上海光学精密机械研究所光学薄膜研究与发展中心,上海201800 苏州大学分析测试中心,苏州2
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用电子束热蒸发的方法生长了ZrO2薄膜，通过X射线衍射分析，我们得到了在不同电子束流下沉积的薄膜其结构和性质是不同的。在100mA电子束流下薄膜基本上处于非晶状态，120mA时出现结晶，并且随着电子束流的增大，结晶越来越明显，峰值越来越大，半高宽越来越小，晶粒线度逐渐增加，表面粗糙度逐渐增大。薄膜中的应力随着电子束流的变化不是简单的线性关系，140mA时为张应力，但是很小，接近于零，其他情况下表现为压应力。
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本文建立了液态光敏剂光漂白及荧光检测装置，用该装置（输出连续激光波长为532nm）研究了溶于蒸馏水的血卟啉单甲醚（HMME）光漂白特性及漂白过程中光敏剂荧光光谱结构变化。结果表明：光敏剂溶液荧光强度与激光照射时间关系曲线适合于用双降指数函数拟和，因此，HMME 溶液中的光敏分子可能存在两个光解（或漂白）途径，其中处于游离态的光敏分子漂白时间很短，而处于聚合态的光敏剂分子漂白时间相对较长。另外，研究
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