【摘 要】
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本文报导了纳米金刚石薄膜的场电子发射。金刚石薄膜是利用微波等离子体化学气相沉积法（CVD）在沉积了Mo膜的陶瓷衬底上制备的。通过X射线衍射（XRD）、扫描电镜（SEM）、Raman光谱等手段确定薄膜是纳米结构。X射线衍射谱显示有金刚石（111）面的宽峰，利用SEM观察到了薄膜的纳米结构，Raman谱显示在1332C＜＇-1＞有一宽峰，另一个宽峰在1580cm＜＇-1＞。在真空度约10＜＇-7＞To
【机 构】
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郑州大学物理工程学院 郑州航空管理学院
【出 处】
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第七届中国真空微电子学与场致发射学术年会
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本文报导了纳米金刚石薄膜的场电子发射。金刚石薄膜是利用微波等离子体化学气相沉积法（CVD）在沉积了Mo膜的陶瓷衬底上制备的。通过X射线衍射（XRD）、扫描电镜（SEM）、Raman光谱等手段确定薄膜是纳米结构。X射线衍射谱显示有金刚石（111）面的宽峰，利用SEM观察到了薄膜的纳米结构，Raman谱显示在1332C＜＇-1＞有一宽峰，另一个宽峰在1580cm＜＇-1＞。在真空度约10＜＇-7＞Torr的真空室中对薄膜进行了场发射实验，结果表明，其阈值电场低于2.4V/μm，在10V/μm的电场下,其场发射电流密度为4mA/cm＜＇2＞,发射点密度为10＜＇3＞/cm＜＇2＞。
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