【摘 要】
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以钛酸丁酯和无水乙醇分别为原料和溶剂，添加适量稳定剂制成稳定溶胶，用浸涂法在AlO基片上制备TiO薄膜，经1000℃H2下还原制得TiO薄膜。最后在氯铂酸-甲醛溶液中浸泡得到掺铂薄膜
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以钛酸丁酯和无水乙醇分别为原料和溶剂，添加适量稳定剂制成稳定溶胶，用浸涂法在Al<,2>O<,3>基片上制备TiO<,2>薄膜，经1000℃H2下还原制得TiO<,2-x>薄膜。最后在氯铂酸-甲醛溶液中浸泡得到掺铂薄膜。实验结果表明掺铂薄膜元件在800℃下具有良好的氧敏感性和重复性，薄膜在N<,2>气氛下具有良好的电阻-温度特性。文中还分析了铂在薄膜中的作用原理。
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