【摘 要】
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本文采用共蒸法制备出了新型薄膜太阳电池材料——AlSb多晶薄膜。通过XRF、XRD、Hall测试及电导率温度关系等研究了AlSb多晶薄膜的组分、结构、掺杂类型等。分析表明,刚沉积
【机 构】
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四川大学太阳能材料与器件研究所,四川 成都 610064
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本文采用共蒸法制备出了新型薄膜太阳电池材料——AlSb多晶薄膜。通过XRF、XRD、Hall测试及电导率温度关系等研究了AlSb多晶薄膜的组分、结构、掺杂类型等。分析表明,刚沉积的AlSb薄膜为非晶相,退火后,随着退火温度的升高,不同配比的样品有着不同程度的物相转变,其中NAl/NSb为47.2％:52.8％的薄膜多晶转变最为明显,结晶度较高；AlSb薄膜退火后在升降温阶段电导率发生不可逆变化,而且退火后薄膜为p型掺杂半导体。
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