【摘 要】
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离子推进器是一种比较成功的电推进系统。离子推进器的寿命直接影响航天器的使用年限,推进器加速栅极腐蚀是影响其寿命的主要因素。为了了解中性原子对离子推进器加速栅极腐蚀的影响,本文利用基于浸入式有限元(IFE,Immersed FiniteElements)和粒子模拟(PIC,Particle In Cell)方法和蒙特卡洛碰撞(MCC,Monte CarloCollision)方法的三维数值模拟程序,
【机 构】
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哈尔滨工业大学深圳研究生院,深圳518055
【出 处】
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第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
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离子推进器是一种比较成功的电推进系统。离子推进器的寿命直接影响航天器的使用年限,推进器加速栅极腐蚀是影响其寿命的主要因素。为了了解中性原子对离子推进器加速栅极腐蚀的影响,本文利用基于浸入式有限元(IFE,Immersed FiniteElements)和粒子模拟(PIC,Particle In Cell)方法和蒙特卡洛碰撞(MCC,Monte CarloCollision)方法的三维数值模拟程序,改变计算区域内中性原子数密度,对离子运动、电荷交换(Charge exchange或CEX)碰撞以及加速栅极腐蚀进行了模拟。
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近年来，由于电负性等离子体在微电子工业、光电子器件以及半导体工业上的大量应用，人们对电负性气体的测量愈发重视，并研究了多种电负性气体的性质.本文利用朗缪尔静电探针和悬浮型微波共振探针测量了单射频40.68MHz等离子体，研究了三种不同电负性气体(O2、 Cl2、 SF6)在不同流量比下对容性耦合Ar等离子体参数产生的影响，着重分析了电子密度ne、电子温度Te以及EEPF的变化情况，然后根据Shin
引言介质阻挡放电(DBD)可以在各种气压下产生低温等离子体,特别适合于低温等离子体的工业化应用[1].DBD的研究历史己过百年,但仍有一些问题没有解决,至今仍是气体放电领域的研究热点.稳定、均匀的辉光DBD是许多应用追求的目标,其产生机理和条件也是放电物理所关心的问题.
This paper studies hollow cathode glow plasma in magnetic field.Requirements to obtain glow plasma under 10-2 Pa and factors affecting the size of glow plasma are investigated.The pressure of glow dis
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