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本文介绍了一种多层蜂窝形微通道热沉的设计与加工方法并对其进行了散热性能实验。基于光化学刻蚀方法加工的微通道板通过层层叠加的方式，在内部形成了微肋交错扰动的流体通道，有效限制了热边界层的发展。该设计方法在增加微通道内比表面积的同时，也通过微结构对流体进行扰动从而达到强化传热目的，改善了基板温度分布均匀性，同时控制了加工成本。实验搭建了一个小型远程换热封闭系统，系统管路采用内径φ2mm的316L不锈钢管，总长2.3米，对设计的一种两进两出蜂窝形微通道热沉换热测试实验表明，在泵功消耗0.72W情况下，其有效散热热流密度达到17.7W/cm2，基板温度控制在61.4℃，为电子器件散热应用提供了一种良好的系统结构。