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本文论述了已知良好芯片(KGD)工艺技术,着重介绍了KGD夹具技术和工艺流程,为国内KGD技术的发展提供了技术指导.
KGD工艺技术
【摘 要】
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本文论述了已知良好芯片(KGD)工艺技术,着重介绍了KGD夹具技术和工艺流程,为国内KGD技术的发展提供了技术指导.
【机 构】
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信息产业部电子第五研究所,510610
【出 处】
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中国电子学会第八届青年学术年会暨中国电子学会青年工作委员会成立十周年学术研讨会
【发表日期】
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2002年5期
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