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该文将介绍一种新型的由石英晶体构成的测量真空度的传感器的检测原理，电路设计，这种真空传感器具有成本低，测量范围宽，制造工艺简单等优点，可以部分替代测量中低真空的传感器，实验结果表明，当环境气压变化从１Ｐａ～１大气压时，该传感器的输出为０－５Ｖ。
具有标准电压输出的石英晶振真空传感器
【摘 要】
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该文将介绍一种新型的由石英晶体构成的测量真空度的传感器的检测原理，电路设计，这种真空传感器具有成本低，测量范围宽，制造工艺简单等优点，可以部分替代测量中低真空的传感器，实验
【机 构】
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大学信电系(杭州)
【出 处】
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第五届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1997年期
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