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<正>压力衰减法超高真空校准装置由超高真空校准系统、稳压系统、供气系统和烘烤系统四部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和和非蒸散型吸气剂泵组合的方法在真空校准室获得10-10Pa 的
压力衰减法超高真空校准技术研究
【摘 要】
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<正>压力衰减法超高真空校准装置由超高真空校准系统、稳压系统、供气系统和烘烤系统四部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和和非蒸散型吸气剂泵组合的方法在真空校准室获得10-1
【机 构】
：
兰州物理研究所;
【发表日期】
：
2008年期
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